碳化硅是典型的第三代半导体材料,其器件比硅单晶器件的性能更高,应用领域更广。山东大学晶体材料研究所陈秀芳教授主要研究的就是碳化硅的单晶生长和后续加工。
踏入半导体研究这一行已经有15年,陈秀芳教授从未停下研究的脚步,“当你认真做某个领域的研究时,你会发现,学无止境,研究也是无止境的。”
她曾先后主持核高基国防科技重大专项、863计划、国家重点研发计划等20余项国家及省部级项目,并获得2013年度山东省技术发明一等奖。说起自己的成果,她有着很朴实的归因:“作为学生,就好好学习;工作了,就好好工作。”
学生时期的陈秀芳认为,一个人的成就大小很大程度上要看发展机遇。但现在她更赞同的是,成就不由机遇决定,更多取决于个人努力。
1999年,陈秀芳考入山东大学材料科学与工程学院读本科,2003年保送至晶体材料研究所。在晶体所的四个专业中,她选择了材料学专业,由此开始半导体方向的研究。同年,她进入晶体所徐现刚教授团队的碳化硅课题组。
在碳化硅课题组,让陈秀芳尤为难忘的是大家的仔细和勤奋。比如,从2003年起,项目组会把每一炉、每十炉、半年、以及每年的炉次总结都放在一个单独、不能上网的电脑里,每一炉的炉次记录单也都会装在单独的柜子里,现在已经装了满满一柜子……
成长之路上,总有很多人经意或不经意点醒自己。读博期间,超硬单晶化学机械抛光的难题攻了两年都没攻下来——划痕无论如何都消不掉。
有一天,陈秀芳跟徐现刚教授谈论起这个问题,对方提到,划痕消除有个规律,你应该先找到这个规律,才能消除。听到这句话的瞬间,陈秀芳一下子被点醒了,“我豁然开朗了,有了这个规律就能很好地去掉划痕。”在此基础上,她大量阅读相关文献,最终通过化学方法攻克了这个难题。
谈起自己的求学经历,陈秀芳教授有很多感慨,“有人点醒,你可能会获得很大的成功。”读博期间,中国科学院院士、晶体所学术带头人蒋民华院士是她的导师。虽然事务繁忙,蒋民华院士还是抽时间来实验室,对她遇到的难题手把手地给予现场指导。
准备博士毕业论文时,蒋民华院士又给陈秀芳提供了关键性的指导。“他对我的研究内容作了修改,帮助我凝练论文题目,画龙点睛,之后论文整体水平大幅提高。”说起自己的导师,陈秀芳教授言语间满是崇敬。她感慨于自己导师高瞻远瞩的思路,“像我们,可能只会做学问,但蒋院士会把我们带到一个很高的层次看问题。”
2009年,陈秀芳博士毕业,两年博士后学习之后,留校任教,成为晶体所的一名老师。在此期间,她一直继续碳化硅单晶方面的研究,科研状态也越来越好。
2012年,陈秀芳作为负责人承担了国防核高基重大专项。核高基重大专项是通过核心技术突破和资源集成,在一定时限内完成的重大战略产品、关键共性技术和重大工程。《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020)》确定了大型飞机、载人航天、探月工程等16个重大专项,陈秀芳她们所做的项目就是其中之一。
陈秀芳强烈意识到这个项目份量有多重,回忆当时,她说:“这个项目不是仅凭个人能力就能完成的,一方面作为负责人要更加努力,另一方面团队的协作能力更为重要。完成这种国家级的重大项目,需要整个团队一起奋斗,每个人都要付出常人两倍、三倍的努力。”
这是个注重科研和产品相结合的项目,需要重复稳定地做出产品。“以前,从零到一是一步,从一到二又是一步。这个项目却是从零直接到二。”对科研工作者来说,要真正做出实用性的产品,是非常困难的一件事。每一步的操作规程、测试记录、作业指导书等,都需要一丝不苟地记录清楚。
做项目期间,陈秀芳和她的团队熬通宵准备资料,写的资料摞起来有一两米,都是常有的事儿……最终,2016年,团队圆满完成任务,实现了“从零到二”的跨越。
随着业内名声渐长,开始有单位想要“挖”人。“我所掌握的技术可以挣到大钱,但人活着并不是为了钱。”从本科、硕士、博士一直到博士后,陈秀芳都在山大求学、工作。她说,自己从未想过离开。
2013年,陈秀芳破格评上教授。作为教授,她的理解是,不仅仅教书,更要育人。她格外注重培养学生的创新能力。在她看来,创新能力是博士、硕士首要具备的能力。
和学生相处,陈秀芳教授也收获了很多感动。曾经有段时间,她需要到校外一家幻灯片公司修改PPT,一待就是一整天,偏偏那个时候她得了重感冒。有个学生一直陪着她,“非常负责地把我的想法跟对方交流,这样,我成了辅助,他成了主力……”老师的勤奋感染到了学生,学生的担当意识自然也得到了老师的认可。
2014年,距离陈秀芳教授进入碳化硅课题组已有十年的时间。这一年,她获得了山东省技术发明一等奖,此时蒋民华院士逝世已有3年,但陈秀芳教授依旧记得自己导师常说的一句话:“十年磨一晶”。她说:“真正把晶体长出来并且用上,真的很不容易,我的十年相当于就做了这么一件事情。”
采访现场,记者注意到了陈秀芳教授的工作笔记本,上面是各种事件提醒。她会根据优先级进行排列,紧急的先做,不紧急的暂缓,完成的就划掉。几乎每天的安排都是满的,即使是有意识地规划,仍有做不完的事。
在陈秀芳教授的科研组里,老师、学生们看起来都非常忙碌,却自有一番从容。未来,陈秀芳教授想把晶体做得更大、性能做得更优,“我做研究,希望尽自己的一份力量,让国家、让生活变得更好……”